Bilgisayarlar, akıllı telefonlar ve ev aletleri gibi elektronik cihazların içinde LSI (Büyük Ölçekli Entegrasyon Devreleri) adı verilen yarı iletken parçalar bulunur. Minyatürleşme ve yoğunluk ilerledikçe, LSI devreleri çok ince desenlerle yazılır hale geldi ve bugün onlar 10 nanometre (saçın 1/10.000'i) kadar küçük veya daha azdır.Elektron ışını litografi sistemleri, bu tür son derece ince devreleri hassas bir şekilde işlemek için gereklidir. IoT toplumunun gerçekleşmesi ve 5G çağının gelişiyle yarı iletkenlere olan talep daha da genişledikçe, elektron ışını litografi sistemlerinin giderek daha önemli bir rol oynaması bekleniyor.
© 2024 Copyright Bildad